Tecniche ottiche per la misura di tensioni residue in film di a-C-H depositati mediante PECVD / Genovese, K; Lamberti, Luciano; Losacco, Am; Sciammarella, Ca. - (2006).
Tecniche ottiche per la misura di tensioni residue in film di a-C-H depositati mediante PECVD
LAMBERTI, Luciano;
2006-01-01
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