Il presente testo è una raccolta strutturata delle lezioni svolte negli ultimi anni per gli studenti di Ingegneria Elettronica, sia del vecchio che del nuovo ordinamento. Esso si propone di fornire i fondamenti delle tecnologie della microelettronica, senza pretese di esaustività in un campo multidisciplinare in rapidissimo sviluppo. Il testo è organizzato in due parti: nella prima sono esposte dettagliatamente le fasi di fabbricazione dei principali dispositivi elettronici integrati. Nella seconda, sono descritte ampiamente le tecniche di fabbricazione (litografie, ossidazioni, drogaggi, deposizioni, etching, ecc..) e gli aspetti fisico-chimici inerenti, le apparecchiature, i modelli cinetici per la simulazione di processo.

Fondamenti di tecnologie e materiali per l'elettronica / Passaro, Vittorio. - STAMPA. - (2005).

Fondamenti di tecnologie e materiali per l'elettronica

Vittorio Passaro
2005-01-01

Abstract

Il presente testo è una raccolta strutturata delle lezioni svolte negli ultimi anni per gli studenti di Ingegneria Elettronica, sia del vecchio che del nuovo ordinamento. Esso si propone di fornire i fondamenti delle tecnologie della microelettronica, senza pretese di esaustività in un campo multidisciplinare in rapidissimo sviluppo. Il testo è organizzato in due parti: nella prima sono esposte dettagliatamente le fasi di fabbricazione dei principali dispositivi elettronici integrati. Nella seconda, sono descritte ampiamente le tecniche di fabbricazione (litografie, ossidazioni, drogaggi, deposizioni, etching, ecc..) e gli aspetti fisico-chimici inerenti, le apparecchiature, i modelli cinetici per la simulazione di processo.
2005
88-548-0229-8
Aracne
Fondamenti di tecnologie e materiali per l'elettronica / Passaro, Vittorio. - STAMPA. - (2005).
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11589/24170
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