Fondamenti di tecnologie e materiali per l'elettronica

Il presente testo è una raccolta strutturata delle lezioni svolte negli ultimi anni per gli studenti di Ingegneria Elettronica, sia del vecchio che del nuovo ordinamento. Esso si propone di fornire i fondamenti delle tecnologie della microelettronica, senza pretese di esaustività in un campo multidisciplinare in rapidissimo sviluppo. Il testo è organizzato in due parti: nella prima sono esposte dettagliatamente le fasi di fabbricazione dei principali dispositivi elettronici integrati. Nella seconda, sono descritte ampiamente le tecniche di fabbricazione (litografie, ossidazioni, drogaggi, deposizioni, etching, ecc..) e gli aspetti fisico-chimici inerenti, le apparecchiature, i modelli cinetici per la simulazione di processo.