Modeling and Analysis of Dual-Time Petri Nets with Application to Semiconductor Manufacturing Systems / Zhang, S., Liu, R., Chen, Y., Fanti, M.P., Li, Z.. - In: IEEE TRANSACTIONS ON AUTOMATION SCIENCE AND ENGINEERING. - ISSN 1545-5955. - (2025). [10.1109/TASE.2025.3624696]
Modeling and Analysis of Dual-Time Petri Nets with Application to Semiconductor Manufacturing Systems
Ruotian Liu;Maria Pia Fanti;
2025
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