Fabrication of an all-Parylene hollow cantilever resonant device / Marocco, . A.; Qualtieri, A.; Ciminelli, Caterina; Vittorio, M. DE; Rizzi, F.. - (2015). (Intervento presentato al convegno MNE 2015, 41st Conference on Micro and Nano-engineering tenutosi a L'Aia, Paesi Bassi nel 21-24 settembre 2015).
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