Fabrication of an all-Parylene hollow cantilever resonant device / Marocco, .A., Qualtieri, A., Ciminelli, C., Vittorio, M.D., Rizzi, F.. - (2015). (MNE 2015, 41st Conference on Micro and Nano-engineering L'Aia, Paesi Bassi 21-24 settembre 2015).
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